什么是特氣柜？

用于提高局部的排氣通風(fēng)，保護鋼瓶（氣瓶）不受柜子外面火災(zāi)以及保護周圍物免受內(nèi)部火災(zāi)的金屬容器。是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體輸送而設(shè)計的供應(yīng)系統(tǒng)，基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當(dāng)設(shè)定報警信號被觸發(fā)時）。氣瓶柜通常有一瓶位、二瓶位和三瓶位。全自動特氣柜（GC）通過采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，實現(xiàn)設(shè)備安全有效的運行。
特氣柜主要用于特種氣體的高純度安全穩(wěn)定供應(yīng)，如：輸送電子特氣參與泛半導(dǎo)體行業(yè)集成電路制造的核心工藝流程：摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環(huán)節(jié)。通常使用氣體的種類有高純氧氣、氮氣; 氬氣、氫氣、氦氣; 甲烷、乙炔、二氧化碳，還有混合氣體等實驗室有些設(shè)備還會用到有毒有害氣體。

特氣柜內(nèi)部圖構(gòu)造：

1.特氣柜面板的厚度大于等于2.7mm的鋼板并涂有抗腐蝕環(huán)氧涂層，并且所有材料都必須是非易燃的。（顏色為白色）

2.特氣柜全表面都不能有震動，不可有鋒利的邊緣。

3.特氣柜的底板厚度大于等于3.4mm，必須鋪有防滑墊片，且固定的鋼瓶的鏈條必須為防腐蝕的不銹鋼鏈條。

4.特氣柜的底面設(shè)計要便于放置或移走鋼瓶而不必調(diào)整鋼瓶高度。如鋼瓶尺寸有變動，設(shè)備廠商無條件的更改鋼瓶CGA接頭高度。

5.特氣柜要可以容納兩個供氣鋼瓶。

6.特氣柜的門，管路線路通道，窗及其他孔洞必須安裝密封圈。

7.特氣柜進氣口要安裝灰塵過濾器。

8.所有特氣柜標(biāo)明其供應(yīng)特殊氣體的種類及其濃度，特氣柜內(nèi)部所有的管路及閥件應(yīng)該標(biāo)明其作用，例如供氣，吹掃或排氣。

氣柜門構(gòu)造：

1.氣柜門能自動關(guān)閉，自動卡鎖及用鑰匙鎖定。

2.氣柜門能打開90度角以上，以方便正常操作。

3.所有的氣柜門及窗子使用同樣的鑰匙。

4.氣柜門能平穩(wěn)地打開及關(guān)閉，并具有防關(guān)閉功能，閉門器的聯(lián)接桿方便拆卸。

操作窗口：

1.操作窗口能自動關(guān)閉，自動卡鎖及用鑰匙鎖定。

2.操作窗口的玻璃必須是厚度大于等于6.5mm，并有金屬絲加固的安全玻璃。

3.窗口背面要安裝隔離玻璃嵌板。

特氣柜的排氣裝置：

1.特氣柜排氣管的直徑必須大于等于6”SS的管路，并覆蓋由FM論證的ECTFE材料。

2.排氣狀態(tài)的持續(xù)監(jiān)控信號要顯示在控制屏上并與控制器聯(lián)動，以提供抽風(fēng)量不足時的停機或報警選項。

3.排氣管上加裝特種氣體偵測器。

特氣系統(tǒng)管道安裝

1.盤面的排氣管必須保持微量N2微漏通過，監(jiān)控其背壓來偵測排氣管是否堵塞。

2.更換鋼瓶時，Pigtail必須保持小流量的PN2吹出。

3.盤面所用的部件必須與所供特種氣體相適應(yīng)，所有的閥件必須可以開關(guān)100000次以上。（并提供給甲方閥件的相關(guān)證明）

4.氣路設(shè)計的最大承受壓力3000Psi，最高溫度250℃。

5.氣路系統(tǒng)構(gòu)造要符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)。

6.調(diào)壓閥要安裝在便于調(diào)節(jié)壓力及維護的位置。且各種電子傳感器禁止安裝在調(diào)壓閥下端。

7.必須使用標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的部件，以減少死角。且所有的彎頭、接頭都必須使用標(biāo)準(zhǔn)配件。材料全部選用SUS316L—EP材質(zhì)。

8.特氣柜要裝有氣體、溫度及煙霧偵測器。

9.特氣柜要裝有作動點為68℃的噴水頭，還要裝有溫度傳感器并與盤面控制器聯(lián)動。

特氣柜功能要求：（包含特氣柜（GC）/BSGS，基本功能要求）系統(tǒng)報警

1.排風(fēng)風(fēng)壓負壓報警功能。

2.Z-purge報警功能。

3.過流量報警聯(lián)動功能。

4.氣柜各種壓力報警聯(lián)動閥門自動開關(guān)、供氣路線自動切換。

5.特氣柜要裝有氣體、溫度及煙霧偵測器報警功能。

6.所有安全裝置及與控制器的觸摸屏必須有失效互鎖保護型。

7.信號燈的警報信號根據(jù)不同的顏色分為三種：紅色是警報，黃色是故障，綠色是正常運行。亮度要求為在5米距離范圍內(nèi)能夠看清楚信號燈光。

特氣供應(yīng)系統(tǒng)控制器

1.控制屏幕，必須是鑲嵌在現(xiàn)有的面板上的、有顯示特氣系統(tǒng)的吹掃狀態(tài)及P&ID、彩色的觸摸屏。

2.氣路系統(tǒng)可以設(shè)定自動或手動操作模式。

3.所有的報警裝置應(yīng)該安裝在顯而易見的地方并伴有警報聲，報警聲經(jīng)確認后靜音，屏幕的報警信息要求報警完全消除后才能消除，所有的操作記錄必須要保存半年以上。

4.控制器要裝有一個EMO按鈕用來關(guān)閉供氣氣動閥使系統(tǒng)完全停止供氣。

5.控制器有密碼保護并且可以在安全連鎖條件下自動控制氣動。

6.控制器PLC應(yīng)該與GMS系統(tǒng)PLC直接通訊，不可以通過觸摸屏的CPU和外界通訊。

7.控制器可以與GMS通訊，并且可以遠程關(guān)閉。

8.設(shè)備廠商要就設(shè)備的自動操作及手動操作提供詳細說明，共同討論通過，當(dāng)有不合理的操作的時候，軟件能夠自鎖并等待確認。

9.控制器必須能夠檢測到組件故障，并時常完成自動檢查和校正。

10.控制器必須能夠設(shè)定和監(jiān)控選定的警報項目。

11.控制器必須有旁路或自動的互鎖程序。

12.控制器必須有自動及手動操作功能。

13.控制器必須能夠接受外部互鎖信號?；ユi類型必須要通過和甲方業(yè)主協(xié)商而且控制器必須有4個干接點供外部操作使用。

14.控制器程序控制器必須具有上傳和下載的功能，以便對程序作故障分析和更新的動作。

15.至少要有兩級密碼設(shè)置，如操作界面密碼和參數(shù)修改密碼。