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先進(jìn)氣體測(cè)控，選擇研創(chuàng)，選擇放心
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氣體輸送柜 GC
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| 產(chǎn)品特性：可實(shí)現(xiàn)電子級(jí)特殊氣體的持續(xù)不間斷安全供應(yīng)；主要采用PLC控制，觸控屏為人機(jī)界面或數(shù)顯按鈕式操作界面。 |
| 主要特點(diǎn)：自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷。 |
| 適用場(chǎng)合：主要用于IC、TFT、Solar、LED等工廠特氣的供應(yīng)需求。 |
| 適用氣體：易燃/自燃性氣體、腐蝕性、毒性，如SiH4,NF3,NH3,N2O,HCL等 |
| 氣源供應(yīng)方式：Cylinder |
| 產(chǎn)品系列：AUTO GC |
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