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先進氣體測控,選擇研創(chuàng),選擇放心
先進氣體測控,選擇研創(chuàng),選擇放心
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產(chǎn)品特性:可實現(xiàn)電子級特殊氣體的持續(xù)不間斷安全供應(yīng);主要采用PLC控制,觸控屏為人機界面或數(shù)顯按鈕式操作界面。 |
主要特點:自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷。 |
適用場合:主要用于IC、TFT、Solar、LED等工廠特氣的供應(yīng)需求。 |
適用氣體:惰性氣體、如CF4,SF6,CHF3,Ar,He等 |
氣源供應(yīng)方式:Cylinder |
產(chǎn)品系列:AUTO GR |
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