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先進氣體測控，選擇研創(chuàng)，選擇放心
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氣體輸送架 GR
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| 產(chǎn)品特性：可實現(xiàn)電子級特殊氣體的持續(xù)不間斷安全供應(yīng)；主要采用PLC控制，觸控屏為人機界面或數(shù)顯按鈕式操作界面。 |
| 主要特點：自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷。 |
| 適用場合：主要用于IC、TFT、Solar、LED等工廠特氣的供應(yīng)需求。 |
| 適用氣體：惰性氣體、如CF4,SF6,CHF3,Ar,He等 |
| 氣源供應(yīng)方式：Cylinder |
| 產(chǎn)品系列：AUTO GR |
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